RE : 긴급 답변...

No : 285
Name : 친절한 선배

nonearth wrote ;

> 내일 공정교육을 위해서 wafer를 cleaning해 놓았어야 하는데..
> 그러지 못해, 내일 당장 공정교육에 쓸 wafer가 없습니다.
> wafer 여분이 6장 정도라 APCVD 실험할 때 wafer를 cleaning하려고 하는데
> 방법을 막상 잊어버렸어요...

그 때 알려주면서 24장을 cleaning 했는데.. 공정교육에서 2조가 지났으니.. 8장이 남아야 정상이 아닌가..
2장은 어디에 버려두고.. --;..
 
> 좀 자세히 다시 설명해주세요..
> 그러니까. 처음부터.. 테프론캐리어를 언제쓰고 버튼은 뭐부터 누르고 등등...
> 내일 아침 9시에 교육이니까. 그전에 꼭 알려줘요..

흠.. 쩝.. 약간 대책없는 말이구먼..
생각나는대로 쓰면...

테프론캐리어는 계속 써야한다.. 처음에 테프론캐리어에 담고.. wet station power on..
wet station의 1번 bath에 담가서.. 6분 정도.. 가끔 흔들어주기도 하면서..

표면에 방울이 맺히는가를 천천히 들어서 보고 판단한 다음에..
2번 dump bath에 넣어서.. start..
counter에 6이라고 찍힐텐데.. 아마.. 물차고.. bubbling하고.. 샤워시키고 등등을..
6번한 뒤.. 삐 소리가 날 것임..

그러면 빼서.. dump bath를 drain 시키고..
wet station off..

옆의 드라이어에 넣어서.. start..
삐소리 나면 빼기..

... 흠 .. 더 궁금한 거 있음 물어봐라..

주의해야 할 것이.. 테프론캐리어 밑의 모양 잘 보고 써라..